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由于材料制备方法和微加工技术较为成熟，单体制备出的微型热电子发射源阵列具有均一的电子发射性能。图二、容量单个微型电子发射源的热发射特性（a）测量设置的示意图。

源项运（g）单个微型电子发射源在0.5MHz方波电压的驱动下的时间相应。目送（b）片上微型热电子发射源阵列四步制备工艺示意图。出工程投（e）15个器件开启电压（Von）的统计分布。

辽宁（d）8×4器件阵列电阻的统计分布。欢迎大家到材料人宣传科技成果并对文献进行深入解读，单体投稿邮箱：[email protected].投稿以及内容合作可加编辑微信：cailiaorenvip.。

（c）在相同发射电流密度下，容量本文中微型热电子发射源的驱动电压与先前报道的门控FEAs的比较。

源项运（b）发射电流和相应的功率与驱动电压的依赖关系。另一方面，目送关于熊本地震带来的影响，泽田社长坦言十分严峻。

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